1. 主机柜：

l  宽：约 600 mm

l  高：约 1700 mm

l  深：约 800 mm

2. 真空舱体：

l  舱体材质：舱体：不锈钢

舱门：铝合金

l  舱体内部尺寸： 宽：约 305mm

高：约 300 mm

深：约 370mm

l  舱体后板上有KF40法兰的抽真空空和KF16法兰的真空计接口和排气口

l  舱门上有观察窗1个

l  真空舱体与真空泵之间安装有真空阀

3. 工艺气体：

l   2路工艺气体由质量流量控制器（MFC）控制

l   1路清洗气体

l   真空压力检测使用皮拉尼真空计

4.射频电源：

l  射频电源：1台

l  电源输出频率：13.56MHz

l  电源输出功率：0 –500 W

l  射频电源配备自动匹配器

l  安全?；ぃ?/span>舱门安全开关

              电源高温?；た?/span>

真空度检测开关

5. 电极与托盘

l  3组电极，电极与样品托盘水平对称放置

6. 控制系统

l  设备通过PLC和触摸屏控制

l  控制系统安装在触摸屏的工控机内t

l  输入与输出电流隔离，高抗干扰性

l  2中控制模式：手动模式：通过触摸屏点击手动操作

l                自动模式：通过编辑程序实现自动操作:

l  可编辑参数：工艺气路选择；

启动工艺气体真空度；

工艺气体流量；

工艺气体通入舱体内稳定时间；

启动射频电源真空度；

射频电源功率；

等离子处理时间；

清洗时间；

通风时间。

l  自动模式下所有工艺步骤实时显示

l  舱体关闭状态，真空压力，射频反射功率过大安全联锁

l  真空压力曲线显示

l  故障报警系统

7. 设备连接

l  工艺气体：6 mm双卡套接头

l  设备供电：220 V / 16 A / 50-60 Hz

l  排气：KF25标准接口

8. 莱宝油式真空泵：

l  抽速：约 16m³/h

l  极限真空度：             约 0.01mbar

l  电机输出功率：   0.6KW

l  供电连接：220V

l  噪音值：60dB（A）使用气镇阀时66dB（A）

l  抽气口：标准KF25法兰

l  排气口：标准KF25法兰

l  冷却方式：风冷

l  工作环境温度：5-40℃