WE3102系列 12英寸槽式清洗设备

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WE3102系列 12英寸槽式清洗设备北方华创

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公司介绍 主营产品

深圳市矢量科学仪器有限公司是集半导体仪器装备代理及技术服务的高新技术企业。

致力于提供半导体前道制程工艺装备、后道封装装备、半导体分析测试设备、半导体光电测试仪表及相关仪器装备维护、保养、售后技术支持及实验室整体服务。

公司目前已授实用新型权利 29 项，软件著作权 14 项，是创新型中小企业、科技型中小企业、规模以上工业企业。

展开

冷热台，快速退火炉，光刻机，纳米压印、磁控溅射，电子束蒸发

产地类别	国产	价格区间	面议
应用领域	综合

1. 产品概述

WE3102系列 12英寸槽式清洗设备，可配备 i-Clean 多药液工艺槽，支持 DN unit, DIO3 等附属功能。

2. 设备用途/原理

WE3102系列 12英寸槽式清洗设备，可配备 i-Clean 多药液工艺槽，支持 DN unit, DIO3 等附属功能。软件量身定制，具备快速更新能力，较高的温度控制稳定性，超高的补水精度，精准的蚀刻速率控制，优秀的干燥效果。

3. 设备特点

晶圆尺寸 12 英寸，适用材料光阻、单晶硅、多晶硅、氧化硅、氮化硅、金属膜、金属氧化物。适用工艺炉清洗、刻蚀 / 抛光后清洗、光阻去除、金属氧化物去除、氮化物去除、控挡片回收。适用域新兴应用、集成电路。