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FR-InLine-在线薄膜厚度测量仪

具体成交价以合同协议为准

联系方式：岱美仪器查看联系方式

联系我们时请说明是化工仪器网上看到的信息，谢谢!


岱美仪器技术服务（上海）有限公司（Dymek Company Ltd ，下面简称岱美）成立于1989年，是一间拥有多年经验的高科技设备分销商，主要为数据存储、半导体、光通讯、高校及研发中心提供各类测量设备、工序设备以及相应的技术支持，并与一些重要的客户建立了长期合作的关系。自1989年创立至今，岱美的产品以及各类服务、解决方案广泛地运用于中国香港，中国大陆（上海、东莞、北京），中国台湾，泰国，菲律宾，马来西亚，越南及新加坡等地区。


岱美在中国大陆地区主要销售或提供技术支持的产品：

晶圆键合机、纳米压印设备、紫外光刻机、涂胶显影机、硅片清洗机、超薄晶圆处理设备、光学三维轮廓仪、硅穿孔TSV量测、非接触式光学三坐标测量仪、薄膜厚度检测仪、主动及被动式防震台系统、应力检测仪、电容式位移传感器、定心仪等。


岱美重要合作伙伴包括有：

Thetametrisis, EVG, FSM, Opto-Alignment, Herz, PLSINTEC, Film Sense, Reditech, Lazin, Delcom, Microsense, Shb, boffotto, RTEC, Kosaka, Nanotronics, MTInc, 4D, Daeil, Microphysics,

n&k Technology, First Nano, Schmitt, LESCO, Otsuka, STI, Kurashiki, Ryokosha, SURAGUS, Westbond...


如有需要，请联系我们，了解我们如何开始与您之间的合作，实现您的企业或者组织机构长期发展的目标。




膜厚仪，轮廓仪，EVG键合机，EVG光刻机，HERZ隔震台，Microsense电容式位移传感器

产地类别 进口 应用领域 化工,生物产业,能源,电子/电池,综合

1、简述

FR-InLine 是一款?？榛衫┱沟?strong>在线薄膜厚度测量仪（膜厚仪），可进行在线非接触测量 3nm-1mm 厚度范围内的涂层。

FR-InLine 在线薄膜厚度测量仪(膜厚仪)并可以依据各种不同应用设置多个参数的实时测量，例如：反射率和透射率光谱、厚度、色座标。

FR-InLine 膜厚仪测量软件可以在标准 Windws 10/11 中执行。

2、产品应用

  • 透明和半透明涂层

  • 眼镜上的涂层

  • 食品工业

  • 光学薄膜

  • 包装

  • 粘合剂

  • 聚合物

  • 可挠式电子和显示器

  • 其他各种工业……

（联系我们了解您的应用需求）

3、产品特征

FR-InLine 膜厚仪提供半宽（蕞多 4 通道）和全宽（蕞多 8 通道）3U 机架安装机箱，可实时测量涂层的薄膜厚度。 FR-InLine 通过标准I/控制埠为启动/停止/复位功能提供外部触发选项。测量数据可立即供其他软件使用，以进一步调整生产流程。工程师可以轻易完成安裝。

4、附件

FR-InLine 附带多个附件，例如：

§TCP/IP 通信

§支持任何特定需求长度和配置的反射探头和光纤

§光学?？椋ɡ缇劢雇妇?、运动支架），以协助探头安装在产线上

5、其他特点

提升流程运行时间和产品质量

减少原材料消耗和成本控制

6、FR-InLine 规格（标准配置）

Model UV/Vis UV/NIR-EXT VIS/NIR NIR NIR-N1
WLRange–nm波长 200–850 200–1020 370–1020 900–1700 850-1050
Pixels像素 3648 3648 3648 512 3648
ThicknessRange*1 3nm-80um 3nm-90um 15nm-90um 200um 1um-400um
n&k-MinThick 50nm 50nm 100nm 500nm  
Thick.Accuracy*2 1nm/0.2% 1nm/0.2% 1nm/0.2% 3nm/0.4% 50nm/0.2%
Thick.Precision*3,4 0.02nm 0.02nm 0.02nm 0.1nm  
Thick.stability*5 0.05nm 0.05nm 0.05nm 0.15nm  
LightSource ExternalDeuterium&Halogen,2000h   Halogen(internal)3000h(MTBF)    
IntegrationTime 5msec(min)     5msec(min)  
Spotsize Diameterof350um
(smallerspotsizeoptionsareavailableuponrequest)		        
MaterialDatabase   >700differentmaterials      
Connectivity     USBorTCP/IP    
Power   100-240V50-60Hz      

FR-InLine膜厚仪测量图示FR-InLine膜厚仪测量图示2



注：

*1、规格如有变更，恕不另行通知

*2、与校正过的光谱椭偏仪和x射线衍射仪的测量结果匹配

*3、超过15天平均值的标准偏差平均值，样品:硅晶片上1微米Si2

*4、标准偏差100次厚度测量结果，样品:硅晶片上1微米Si2,

*5、15天内每日平均值的2*标准差。样品:硅片上1微米Si2。

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