NanoView-1800 韩国NanoSystem非接触光学表面形貌测量系统
- 公司名称 上海首放电子科技有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型号 NanoView-1800
- 产地 韩国
- 厂商性质 经销商
- 更新时间 2024/12/4 14:59:30
- 访问次数 3072
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产地类别 | 进口 | 应用领域 | 医疗卫生,生物产业,电子/电池,纺织/印染,汽车及零部件 |
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韩国NanoSystem非接触光学表面形貌测量系统
型号:NanoView-1800/NanoView-2400/NanoView-2700
高精度非接触式表面形貌检测
无损3D表面轮廓分析
宜用平台提供快速、高效的工艺流程的监控
全面、直观的软件提供了式样和应用灵活性
主要功能
3D形貌测量
高,深,间隔(从纳米级到5mm)
粗糙度(R参数)表面(S参数)
面积信息(体积,面积)
2D测量
NanoView可靠性在许多应用领域发挥性能。
NanoView 提供完整的表面形貌纳米测量和分析技术方案。
韩国NanoSystem非接触光学表面形貌测量系统
NV-Serise技术参数
型号 | NanoView-1800 | NanoView-2400 | NanoView-2700 |
测量原理 | 非接触三维 白光扫描干涉法(WSI)/移相干涉法(PSI) | ||
现场放大镜 | 1.0×(标配) | 1.0×(标配) | 1.0×(标配) |
物镜 | 单镜头 | 可选5个镜头(手动鼻轮) | 可选5个镜头(自动鼻轮) |
光源 | 白光LED光源 | ||
扫描方式 | 闭环控制压电促动扫描方式 | ||
纵向扫描范围 | Max 270um(可拓展到:5mm) | ||
纵向扫描速度 | ≤12um/sec(1X~5X倍率可?。?/span> | ||
倾斜 | ±3°(样品台倾斜) | 头部倾斜±5°(手动模式) | 头部倾斜±5°(自动模式) |
纵向分辨率 | WSI:<0.5nm / PSI:<0.1nm | ||
横向分辨率 | 0.2~4um(取决于物镜/视场放大镜倍率) | ||
台阶重复性 | <0.5%(1s) | ||
XY样品台行程 | 140×140mm(手动) | 230×230mm(自动) | 230×230mm(自动) |
XY样品台行程 | 50×50mm(手动) | 100×100mm(手动) | 100×100mm(自动) |
Z轴行程 | 30mm(手动) | 100mm(手动) | 100mm(自动) |
环境要求 | 温度:15~30℃,温度变化量:<1℃/15min 湿度:<60%,无凝结 |
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