日本advance2ω法纳米薄膜热导仪TCN-2ω
参考价 | ¥4560-¥500000/件 |
具体成交价以合同协议为准
- 公司名称 秋山科技(东莞)有限公司
- 品牌其他品牌
- 型号
- 所在地东莞市
- 厂商性质经销商
- 更新时间2025/5/3 17:10:16
- 访问次数 1952
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产地类别 | 进口 | 价格区间 | 面议 |
---|---|---|---|
应用领域 | 医疗卫生,食品/农产品,生物产业,钢铁/金属,制药/生物制药 |
日本advance2ω法纳米薄膜热导仪TCN-2ω
该设备是世界上唯yi使用2ω方法测量纳米薄膜在厚度方向上的导热率的商用设备。与其他方法相比,样品的生产和测量更加容易。
使用
- 量化低K绝缘膜的热阻,以用于半导体器件的热设计
- 绝缘膜的开发和散热的改善
- 在热电薄膜中的应用评价
特征
- 可以测量在基板上形成的20至1000nm的薄膜的厚度方向上的热导率。
- 使用热反射法通过温度幅度检测实现测量
- 易于预处理的测量样品
日本advance2ω法纳米薄膜热导仪TCN-2ω
规格
测量温度 | 逆时针 |
---|---|
样品尺寸 | 宽10毫米x长10至20毫米x厚度0.3至1毫米(板) |
测量气氛 | 在真空中 |
测量原理
关于“在绝热边界条件下通过2ω法评估薄片样品的导热系数”的论文
当金属薄膜以f / Hz的频率加热时,加热量变化为2f / Hz。
在充分散热的条件下,金属薄膜(0)–薄膜(1)–基板(s)的三层系统中金属薄膜表面的温度变化T(0)是一维的穿过金属薄膜/薄膜,以下公式用于表示传热模型的解析解。
(Λ:导热率W m -1 K -1,C:体积比热容JK -1 m -3,q:每体积的热量W m -3,d:厚度m,ω:角频率(=2πf) / s -1)
由于实数解(同相振幅)包含薄膜的信息,因此在相同条件下以不同频率进行测量时,同相振幅与(2ω)-0.5成比例。
的热导率λ 1所述的薄膜是通过以下公式获得。
(M:斜率,n:截距)
Si基板上的SiO 2薄膜(20-100 nm)的示例
薄膜厚度/ nm | 19.9 | 51.0 | 96.8 |
---|---|---|---|
导热系数/ Wm -1 K -1 | 0.82 | 1.12 | 1.20 |
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