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牛津电子束镀膜机

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上海骐锐信息科技有限公司专注于行业领域,高低温介电常数/高低温下电性能测试系统/工业自动化/精密仪器/航空航天高性能材料测试系统、传感器生产与技术服务。我们以技术创新为核心驱动力,致力于为客户提供高效、智能、定制化的设备解决方案,助力全球客户提升生产效率、优化产品质量并实现可持续发展。

核心技术优势:

? 研发实力

拥有一支由资深工程师、行业专家及高??蒲型哦幼槌傻母春闲脱蟹⑼哦?,累计获得多项发明专利及实用新型专利。

? 技术亮点

自主研发核心产品技术,如:高低温下介电常数/材料电性能高低温测试/模块化设备架构/能耗优化系统等。

采用数字化仿真/工业大数据分析/虚拟调试等先进技术,缩短研发周期30%以上。

? 产学研合作

与高校/科研院所名称建立合作,共同攻关行业关键技术难题。

 

产品与服务体系:

?? 核心产品线

1. 智能生产线集成:面向制造业的自动化装配、检测及自动化测试系统。

2. 专用设备定制:材料测试系统、半导体精密加工设备、新能源电池模组封装设备等。

3. 智能运维平台:设备远程监控、预测性维护及数据分析服务。

?? 服务模式

- 全生命周期支持:从需求分析、方案设计到安装调试、售后维保的一站式服务。

 

成功案例

研发的设备型号获奖项/认证

服务覆盖行业领域,如:汽车制造/生物医药/光伏新能源头部企业

我公司与以下国内外厂商建立了长期合作关系:日本安立公司、美国泰克Tektronix 公司、南京盛普、Sample 公司 、美国福禄克Fluke 公司、北京普源精电 、Rigol公司、美国安捷仑Agilent公司、中国台湾茂迪Motech公司、美国艾法斯 Aeroflex公司、 中国台湾固纬Goodwill公司、美国吉时利Keithley公司、日本岩崎Iwatsu公司、美国国家仪器NI公司、日本爱德万 Advantest公司、美国Magtrol公司、德国惠美Hameg公司、韩国Tescom公司、安徽41所、韩国金进 Jungjin公司、常州同惠等。

 

 

电子仪器仪表 材料测试

应用领域 电子/电池,电气

牛津电子束镀膜机是化合物半导体器件制作中的一种重要工艺技术。它是在高真空状态下由电子束加热坩埚中的金属,使其熔融后蒸发到所需基片上形成金属膜??烧舴⒑芏嗄讶劢鹗艋蛘哒羝沟偷慕鹗舨牧?,包括Ta, W, Mo, Rh, C, B, Pt, Al2O3, ZnO, Pr2O3…VS5电子束蒸发镀膜机是英国牛津真空公司生产,台式设计、软件自动操控、高性价比,非常适合实验室科研使用。


牛津电子束镀膜机技术规格:
- 基底尺寸:3英寸,4英寸,6英寸;
- 基底旋转:0~10rpm;
- 电子束源:Telemark电子束源,单袋或多袋电子束源可?。?br/>- 热蒸发源:多配置2套热蒸发舟(选配);
- 腔体:不锈钢或石英腔体可供客户选择;
- 泵:前级干泵,分子泵;
- Load Lock样品传输腔室:手动或自动传输,高真空,支持多种样品衬底(选配);
- 工艺控制:PC/PLC机制的自动控制、数据处理、远程支持;
- 原位监控:石英晶振监测(QCM),光学监测,残余气体分析,其他原位监测技术或控制;
- 衬底固定:单衬底固定,客户化衬底固定方式;
- 衬底夹具:加热,冷却,偏置,旋转等;


参考用户:
清华大学、厦门大学、华中科大、广东工大、深圳大学、兰州理工大学、重庆石墨烯研究院等。

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