Ecopia HMS-5000全自动变温霍尔效应测试仪主要用于测量半导体材料的载流子浓度、迁移率、电阻率、霍尔系数、导电类型等重要参数，而这些参数是了解半导体材料电学特性必须预先掌控的，因此霍尔效应测试仪是理解和研究半导体材料电学特性*的工具。

产品组成:
1、 主机系统
恒电流源+范德堡(Van der Pauw)方法终端转换系统
2、 0.51特斯拉磁体包(型号：AMP51)
      - 0.51特斯拉永磁体
      - 磷铜样品固定板
      - 样品固定板嵌入式加热器
      - 液氮槽
      - 温度传感器

样品变温、固定部分组成 -  圆形液氮槽 -  样品固定板 -  温度传感器 -  嵌入式加热器 -  磁体盖 -  电缆	AMP磁体Kit俯视图 - 磁体移动马达控制 - 圆形液氮槽 - 磁体盖 - 电缆

3、 常温测量弹簧夹具样品板及常温测量磁体盖板 RTSK-5000 (选配)

4、 变温霍尔效应测量软件

HMS-5000变温霍尔效应测量仪软件主界面

不同温度I-V/I-R曲线       载流子浓度随温度变化曲线

迁移率随温度变化曲线       电阻率随温度变化曲线

霍尔系数随温度变化曲线       电导率随温度变化曲线

Ecopia HMS-5000全自动变温霍尔效应测试仪规格：
1、 主要实验参数
输入电流：1nA ~ 20mA；
电阻率：10exp(-5) ~ 10exp7Ω.cm；
载流子浓度：10exp7 ~ 10exp21 cm-3；
迁移率：1 ~ 10exp7 cm2/Volt.sec；
磁场强度：0.51T；
样品测量板：弹簧样品板；
样品尺寸：5mmX5mm  ~ 20mmX20mm；
温度范围：80K-350K；
磁体包尺寸：700×220×280 mm (W×H×D) / 15.5Kg；
2、 软件操作环境
XP / VISTA / Win7 / Win8 / Win10环境下
3、 实验结果
      - 体载流子浓度、表面载流子浓度；
      - 迁移率；
      - 霍尔系数；
      - 电阻率、方块电阻；
      - 磁致电阻；
      - 电阻的纵横比率；
4、 仪器尺寸和重量
主机尺寸：440×420×140 mm (W×H×D) / 8.5Kg；
5、 测量材料
Si, SiGe, SiC, GaAs, InGaAs, InP, GaN, TCO(including ITO), AlZnO, FeCdTe, ZnO等所有半导体薄膜(P型和N型)；