日本日新化成粉体异物检查装置PIE-C3

在利用光散射的掩模版/掩模异物检查装置中，重要的技术要素是区分来自异物的散射光（异物光）和来自图案的散射/衍射光（图案光）。在PD系列中，我们主要将散射光的偏振特性用于判别。在初的设备中，使用了光学系统的布置和偏振片对图案光的消光，在下一个系列中，使用了熄灭图案光的检测器与熄灭外来光的检测器之间的信号强度比。此外，近的模型集中于图案光和异物光的信号形状来执行信号处理。xin的PRPD3采用了一种判别方法，该方法涵盖了传统判别方法的优点，并将其用作可以处理更多模式的信号处理方法。

日本日新化成粉体异物检查装置PIE-C3

PIE-C3で検査することのメリット

検査制度の信頼性

• 測定者の能力による誤差が無くなる。
• 検査精度にすぐれ、データの信頼性が高い。
• 操作が簡単で約15分（100g検体）でカラーカメラでの検査が可能（分解能：約20、事項検出力：50を保証）

検査データの客観性

• データの共有化、他社との互換性に生かせる。
• 検出異物の画像を付属PCへ取り込み、異物の画像管理が容易。

経済性?作業効率

• 操作が簡単でしかも短時間に検体の処理ができる。
• 拘束時間が少なく、併行して他の仕事が行える。
• 検査工数の削除につながる。
• 測定者の疲労が少ない。