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FE-300 膜厚量測儀

具體成交價以合同協(xié)議為準

聯(lián)系我們時請說明是化工儀器網上看到的信息,謝謝!


大塚電子(蘇州)有限公司成立于20074月,致力于讓中國客戶能安心使用已有50年歷史的日本大塚電子所研發(fā)與生產的測量與分析設備。

我們的產品涵蓋LED、OLED等光源和照明行業(yè),產品包括有液晶和有機EL顯示行業(yè)的光學特性評估與檢測設備;用于測量半導體晶圓和薄膜化學品厚度的設備;以及評估墨水、研磨劑、醫(yī)藥和化妝品材料的納米顆粒(粒徑和ζ電位測量)設備,這些設備均應用了我們的“光”技術。

在日本,我們的產品擁有眾多交付實績。為提供全面的售前和售后支持,我們設立了技術和維護中心,努力提供快速、令客戶滿意并能使客戶感受到關懷和價值的服務。

我們致力于不斷提升產品價值和支持服務,做到讓客戶能主動向他人推薦大塚電子的產品。

我們是大塚集團的一員,繼承了集團的企業(yè)理念「Otsuka-people creating new products for better health worldwide

以及大塚集團歷代的3個思想,即「流汗悟道」「實證」「創(chuàng)造性」,并以此行動。我們推出創(chuàng)新產品,開展業(yè)務,為社會做出貢獻。

對于那些挑戰(zhàn)可能性邊界的人來說,天空是無限的。超越它,就會有一個全新的前沿世界。

利用大塚電子的技術“光”的力量,為業(yè)界提供解決方案是我們的使命。

Otsuka-people creating new products for better health worldwide

傳承大塚的“實證與創(chuàng)造”精神,時刻為了實踐“因為是大塚所以能做到”、"只有大塚才能做到"的口號而努力奮斗。

大塚電子,通過革新的且富有創(chuàng)造性的產品(設備)服務,在「健康和生活」的領域,不斷地為人民的生活做著貢獻。



zeta電位?粒徑?分子量測量系統(tǒng),晶圓在線測厚系統(tǒng),線掃描膜厚儀,顯微分光膜厚儀,線掃描膜厚儀,分光干涉式晶圓膜厚儀,相位差膜?光學材料檢測設備,非接觸光學膜厚儀,小角激光散射儀,多檢體納米粒徑量測系統(tǒng),量子效率測量系統(tǒng)

產地類別 進口 應用領域 醫(yī)療衛(wèi)生,食品/農產品,電子/電池,汽車及零部件,綜合

產品信息

特 長

薄膜到厚膜的測量范圍、UV~NIR光譜分析

高性能的低價光學薄膜量測儀

藉由反射率光譜分析膜厚

完整繼承FE-3000機種90%的強大功能

無復雜設定,操作簡單,短時間內即可上手

線性小平方法解析光學常數(n:折射率、k:消光系數)

測量項目

  • 反射率測量

  • 膜厚解析(10層)

  • 光學常數解析(n:折射率、k:消光系數)

產品規(guī)格

樣品尺寸

大8寸晶圓(厚度5mm)

測量時間

0.1s ~ 10s以內

量測口徑

約φ3mm

通訊界面

USB

尺寸重量

280(W)× 570(D)×350(H)mm,約24kg

軟體功能

標準功能

波峰波谷解析、FFT解析、適化法解析、小二乘法解析

選配功能

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

※1 請于本公公司聯(lián)系聯(lián)系我們
※2 對比VLSI標準樣品(100nm SiO2/Si),范圍值同保證書所記載
※3 測量VLSI標準樣品(100nm SiO2/Si)同一點位時之重復再現性。(擴充系數2.1)

應用范圍

半導體晶圓膜(光阻、SOI、SiO2等)
光學薄膜(OC膜、AR膜、ITO、IZO膜等)

測量范例

  • PET基板上的DLC膜

    item_0005FE-300_sub001.gif

  • item_0005FE-300_sub002.gif



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