恒溫真空勻膠機/控溫型勻膠機/真空勻膠烤膠機Spin Coater 

恒溫真空勻膠機烤膠機Spin Coater 產(chǎn)品簡介： 
主要用于液體，膠體在材料表面薄膜的形成，適用于硅片，晶片，玻璃，陶瓷等制版表面涂覆工藝?？稍诳蒲校逃?，生產(chǎn)中應(yīng)用。 

可以完成有機物的勻膠。（攝氏溫度200度以下）。 

完成勻膠時，還可以完成烤膠。 

采用空間式加熱的控溫型勻膠機，可以進行邊加熱邊旋轉(zhuǎn)的控溫勻膠操作，對提高膠體流動性，加速溶劑揮發(fā)，勻膠后直接烤膠等操作提供了便利的解決方案。

控溫精度高、重復(fù)性好，技術(shù)*，性能優(yōu)良。

    標(biāo)配4英寸真空吸盤，加熱速度快，控溫精度高。不同尺寸基片為保證緊密接觸加熱轉(zhuǎn)盤，可定制設(shè)計更換。

恒溫真空勻膠機烤膠機Spin Coater 特性：

1、空間式恒溫加熱，室溫-200℃。精度0.1℃

2、可以完成有機物的勻膠。（攝氏溫度200度以下）

 完成勻膠時，還可以完成烤膠。

3、可設(shè)定存儲26個不同樣片的旋轉(zhuǎn)涂敷工藝過程。

4、每個涂敷工藝過程可以設(shè)置51步不同的速度狀態(tài)；

5、可以控制加速度

6、平穩(wěn)轉(zhuǎn)速，預(yù)設(shè)值與實際值誤差率1‰。有視頻為證（如想觀看視頻，請聯(lián)系我）

7、端跳1mm的±2.5％

主要特點： 
高精度多程序控制器： 

可設(shè)定存儲26個不同樣片的旋轉(zhuǎn)涂敷工藝過程。 

每個涂敷工藝過程可以設(shè)置25步不同的勻速度狀態(tài)； 

加速度及負加速度可自主控制。 

液晶顯示屏可以實時顯示： 
      1.    第N個涂敷工藝過程 
      2.    所處工作段 
      3.    真空吸片狀態(tài)。 
      4.    設(shè)置時間；及實時運行時間。 
      5.    設(shè)置速度；及實時速度狀態(tài)。 

中英文兩套操作系統(tǒng)供選擇。 

人機交互式對話，簡潔，明了。 

儀器真空吸片系統(tǒng)更安全： 
旋涂儀安裝有真空度傳感器，涂敷工作過程電腦實時檢測系統(tǒng)真空度， 
必須在安全的真空度下，電機啟動，運行。保障可靠吸片，不飛片。 

頻伺服電機，轉(zhuǎn)速精度更高： 
300 - 10000轉(zhuǎn)/分，轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性：+ - 0.1 % 
轉(zhuǎn)速10000轉(zhuǎn)/分 

不銹鋼機殼 聚四氟（塑料王）材質(zhì)工作腔  
不銹鋼機殼，外表面潔凈光亮。美觀，方便清洗。 

溫度控制系統(tǒng) ：
       工作腔內(nèi)板式加熱體，加熱均勻。 
       控制溫度范圍：室溫--攝氏溫度200度。 
 聚四氟（塑料王）材質(zhì)工作腔 

技術(shù)參數(shù)： 
     單相交流電源：220V.50Hz 
     電機功率：150W 
    旋轉(zhuǎn)真空吸盤直徑：4英寸（102mm，標(biāo)準(zhǔn)配置） 
     可選擇配置：基片直徑10—200mm可接受訂貨。 
     轉(zhuǎn)數(shù)：300 - 10000轉(zhuǎn)/分。 
     可設(shè)定時間：1---9999秒。 
     控制溫度：室溫--攝氏溫度200度。 
     控制精度：1攝氏度 
 

標(biāo)準(zhǔn)包裝： 
結(jié)構(gòu)尺寸：260mm寬x 350mm深x 260 mm高, 
可選配件：

1、60升/分有油真空泵 

2、特殊真空吸盤 

3、70升/分無油真空泵