巴鲁夫成型外壳内的磁致伸缩位移传感器

（1）*将直线电机加气浮导轨的驱动方式应用于位移传感器自动化校准。相对于传统的机械驱动方式，直线电机不仅能够直接让运动部件作直线运动，简化了设备结构，不需要中间转换过程，其动态响应性能和重复定位精度都大大提高，通过和气浮导轨配合可使得校准过程稳定性好。

（2）将标准与被校传感器置于气浮导轨两端，传感器牵引端与气吸附滑块上的运动端通过转接装置相连，激光干涉仪的反射镜同样置于滑块上，校准时通过夹具调节使位移传感器运动方向与激光干涉仪测量方向在同一条直线上，实现阿贝误差的消除。

（3）基于磁致伸缩测杆式传感器校准设计夹具，配合支撑点消除变形的校准方式，解决了该类传感器校准过程中存在的挠度问题。后，通过对位移传感器校准装置不确定度的评定和验证，表明该校准方法准确、有效、可行。

巴鲁夫成型外壳内的磁致伸缩位移传感器

主营德国进口备件:巴鲁夫BALLUFF

图尔克TURK、

                 倍加福P+F

西克SICK、 

                 FIAMA  MTS、 SMC

易福门IFM、

                  皮尔兹Pilz 、费斯托FESTO 

                  
美国邦纳Banner 杰佛伦 gefran 等