SE+SR-XYZ Auto Stage全光谱椭偏仪
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- 公司名称 致东光电科技（上海）有限公司-J
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- 厂商性质 生产厂家
- 更新时间 2019/3/22 13:22:45
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| 产地类别 | 国产 | 价格区间 | 面议 |
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SE+SR-XYZ Auto Stage全光谱椭偏仪是一种用于探测薄膜厚度、光学常数以及材料微结构的光学测量仪器。由于测量精度高，适用于超薄膜，与样品非接触，对样品没有破坏且不需要真空，使得椭偏仪成为一种吸引力的测量仪器。SE+SR-XYZ Auto Stage全光谱椭偏仪反演问题的方法就是在衰减分析中，应用Levenberg-Marquardt算法。利用比较方程，将实验所得到的数据和模型生成的数据比较。通常，定义均方误差为：
在有些情况下，小的MSE可能产生非物理结果。但是加入符合物理定律的限制或判断后，还是可以得到很好的结果。衰减分析已经在椭偏仪分析中收到成功的应用，结果是可信的、符合物理定律的、精确可靠。
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