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微型磁控溅射镀膜设备

具体成交价以合同协议为准
  • 公司名称 科睿设备有限公司
  • 品牌 其他品牌
  • 型号
  • 产地
  • 厂商性质 代理商
  • 更新时间 2025/2/27 13:44:41
  • 访问次数 2426
产品标签

微型磁控溅射

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科睿设备有限公司(Cross-Tech Equipment Co.,Ltd )为多家国外高科技仪器厂家在中国地区的代理?？祁９疽还岜小撼闲拧弧ⅰ浩分省?、『服务』、『创新』的企业文化，为广大中国用户提供仪器、设备，周到的技术、服务和*的整体解决方案。在科技日新月异、国力飞速发展的中国，纳米科学研究、薄膜材料(包括半导体)生长和表征、表面材料物性分析、生物药物开发、有机高分子合成等等领域，都需要与欧美发达国家*接轨的仪器设备平台来实现?？祁Ｉ璞赣邢薰居行页沙ぴ谡飧龌鹑鹊哪甏颐窃敢饣蛔帕?，见证中国科技水平的提升，与中国科技共同飞速成长。
      科睿设备有限公司(Cross-Tech Equipment Co.,Ltd)总部设在中国香港，在中国上海设立了分公司，在国内多个城市设立了办事处或维修站，旨在为客户提供*的产品和服务。2010年，科睿设备有限公司在上海设立备品仓库及维修中心，同时提供在大陆的各项技术服务和后期的维修保障服务，我们拥有专业的应用维修人员，并且都曾到国外厂家进行了专门的培训。上海配备了多种维修部件，能使我们的服务更加快捷和方便。我们承诺24小时电话响应，72小时内赶到现场维修。以利于更好、更快的为中国大陆服务！
      因为信任,所以理解.我们理解用户的困难和需求。我们已经为国内众多科研院所和大学根据用户的要求配制和提供了上百套系统，主要用户包括：中科院物理所，中科院半导体所，中科院大连化学物理研究所，国家纳米中心，上海纳米中心，北京大学，清华大学，中国科技大学，南京大学，复旦大学，上海交通大学，华东理工大学，浙江大学，中山大学，西安交通大学，四川大学，中国工程物理研究院，香港大学，香港城市大学，香港中文大学，香港科技大学等。



光刻机，镀膜机，磁控溅射镀膜仪，电子束蒸发镀膜仪，开尔文探针系统(功函数测量)，气溶胶设备，气溶胶粒径谱仪，等离子增强气相沉积系统(PECVD)，原子层沉积系统(ALD)，快速退火炉，气溶胶发生器，稀释器，滤料测试系统

产地类别 进口 应用领域 电子/电池,综合

微型磁控溅射镀膜设备微型磁控溅射
这款来自美国的微型磁控溅射系统满足研究所和研发部门对真空薄膜沉积的性能要求，占用空间小，具有超高的性价比，可以向客户提供优质的服务。
微型磁控溅射镀膜设备特点
小容量，快速重复工作流程；
活性沉积区域最大为200nm（8英寸）直径；
适应多种衬底；
可配备多个溅射源（最多至4个）；
连续沉积模式或联合沉积模式；
不同工作气体控制；
共焦阴极分布；
50mm,75mm, 或100mm磁控溅射源；
内置阴极角倾斜；
阴极挡板；
直流,脉冲，高频（HG或MF）电源；
衬底，加热，冷却，或者RF/DC偏压；
可添加预抽室。

这款来自美国的微型磁控溅射系统满足研究所和研发部门对真空薄膜沉积的性能要求，占用空间小，具有超高的性价比，可以向客户提供优质的服务。


参考：

磁控溅射法是在高真空充入适量的氩气，在阴极（柱状靶或平面靶）和阳极（镀膜室壁） 之间施加几百K 直流电压，在镀膜室内产生磁控型异?；怨夥诺?，使氩气发生电离。

优势特点

常用的制备磁性薄膜的方法是磁控溅射法。氩离子被阴极加速并轰击阴极靶表面，将靶材表面原子溅射出来沉积在基底表面上形成薄膜。通过更换不同材质的靶和控制不同的溅射时间，便可以获得不同材质和不同厚度的薄膜。磁控溅射法具有镀膜层与基材的结合力强、镀膜层致密、均匀等优点。





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