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產(chǎn)地類別	進口	應用領域	環(huán)保,化工,電子/電池,綜合

日本ULVAC愛發(fā)科多功能真空搬運機器人

特征

有多種臂可供選擇，以適應行程、轉彎半徑、傳輸板的數(shù)量等。

COVOT-CR4 采用磁流體密封進行真空密封，可使用高達 10-6Pa 的高真空。

規(guī)格

型		COVOT-6-X5	COVOT-CR4 系列
工作壓力區(qū)域		大氣壓力~10-1Pa	大氣壓~10-6Pa
晶圓尺寸		200 毫米/300 毫米	200 毫米/300 毫米
持有的晶圓數(shù)量		4 件	2 件
最大范圍 *		880 毫米	1050 毫米
旋轉角度		360° 無盡	±180°
提升行程		110 毫米	120 毫米
最小旋轉直徑 *		980 毫米	960 毫米
有效載荷能力（包括手）		1 千克	1 千克
作速度伸縮式	伸縮	最大 1.5 秒 / 全行程	最大 1.5 秒/780 毫米
	把	最大 2.0 秒 / 180°	最大 2.0 秒 / 180°
	提升	最大 1.5 秒 / 20 毫米	最大 3.5 秒 / 105 毫米
可重復的位置精度	伸縮	±0.1 毫米	±0.1 毫米
	把	±0.1 毫米	±0.1 毫米
	提升	±0.1 毫米	±0.1 毫米
示教器		附屬品	附屬品
控制器		分開	分開

*取決于安裝臂和手。

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