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應用領域	環(huán)保,化工,電子/電池,綜合

日本ULVAC愛發(fā)科不銹鋼真空閥

規(guī)格

型	VLP-SA 系列
閥板上最大允許壓差（正壓/反壓）MPa	0.10
開啟方向的最大容許壓差（正壓/反壓）MPa	0.10
板密封	O 型圈
饋入件	O 型圈
沖動	雙作用氣缸
外部泄漏率*1帕?米3/秒	≦1.0E-10
內部泄漏率*1帕?米3/秒	≦1.0E-10
工作壓力范圍（絕對壓力） Pa	大氣壓 ~ 1.0E-5
烘烤溫度（停止時）*2°C	本體：150*3，驅動：70 （指示器： 60）
工作環(huán)境溫度 °C	5~70
流體溫度 °C	5~70
加熱和冷卻速度 °C/h	≦30
工作環(huán)境	無腐蝕性
流體	無腐蝕性
壓縮空氣到氣缸 MPaG	0.40 ~ 0.60
保證作周期*4	100,000
取向	無限制
位置指示器	可選（單獨出售）
主要部件材料（真空側）	不銹鋼 304
主要部件材料（氣氛側）	不銹鋼 304，鋁 6061（陽極氧化鋁）
波紋管材料	ー
密封材料（真空側）	FKM
潤滑脂（真空側）	氟潤滑脂
升降附件	沒有*5
RoHS 指令	遵守

*1 泄漏率不包括 O 形圈中的滲透。在 O 形圈軸密封饋入裝置的情況下，打開和關閉過程中的外部泄漏不受調節(jié)。
*2 烘烤時請勿打開和關閉。
*3 對于 VLP-MB 和 VLH-MB，打開位置的最高主體烘烤溫度：200°C （392F）和關閉位置：150°C （302F）。
*4 有關詳細信息，請參閱使用說明書。
*5 VLP-SA350JH 包括升降附件（吊環(huán)螺栓 M12 x 2 個）。

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