| 產地類別 |
進口 |
應用領域 |
環(huán)保,化工,電子/電池,綜合 |
日本ULVAC愛發(fā)科光譜橢偏儀
“Model：UNECS" 是一種光譜橢偏儀，可快速準確地測量薄膜的折射率和厚度。它采用du 特的測量方法，實現(xiàn)了緊湊的尺寸和高速的測量。
UNECS-1500M 通過易于使用的手動 R-θ 平臺輕松定位測量點。
日本ULVAC愛發(fā)科光譜橢偏儀
日本ULVAC愛發(fā)科光譜橢偏儀
特征
高速測量：實現(xiàn)快照測量方式，高速測量每點 20ms。
可見光譜范圍：可以選擇光譜波長范圍。標準型為 530nm 至 750nm，可見光譜型為 380nm~760nm。
緊湊型傳感器單元：傳感器單元重量輕且非常緊湊。它由一個沒有任何旋轉機構的光學元件組成。此外，無需任何定期維護。
強大的產品線：擁有強大的產品線，包括便攜式、手動/自動載物臺型、內置式和大型基板型等。
規(guī)格
| 波長范圍 | 530 至 750 納米或 380 至 760 納米 |
| 光斑尺寸 | Φ1mm 或 Φ0.3mm |
| 入射角 | 70° |
| 薄膜厚度可重復性 | 1σ = 0.1納米 |
| 膜厚測量范圍 | 1nm 至 2μm |
| 測量時間 | 采樣時間 ： 20ms 至 3000ms 分析時間 ： 300ms |
| 樣品臺 | 固定載物臺（Φ150mm、可拆卸） |
| 控制 PC | 筆記本電腦，包括分析軟件 |
| 配置 | 測量單元（包括固定載物臺）?？刂葡?。光源單元。控制 PC（筆記本電腦型）和作手冊 （CD）。 |
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