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一種在曝光光刻中使用的立體模板及其制備方法
發(fā)證機構(gòu)：
中華人民共和國國家知識產(chǎn)權(quán)局
生效日期：
2016-01-12
截止日期：
2036-01-11
認(rèn)證簡介：
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一種基于褶皺的金屬表面納米結(jié)構(gòu)制備方
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一種采用激光直寫制備薄膜降反結(jié)構(gòu)的方
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