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探針臺的簡單概述及淺談與晶圓測試的聯(lián)系

閱讀:2390      發(fā)布時(shí)間:2022-7-25
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探針臺是半導(dǎo)體(包括集成電路、分立器件、光電器件、傳感器)行業(yè)重要的檢測裝備之一,其廣泛應(yīng)用于復(fù)雜、高速器件的精密電氣測量,旨在確保質(zhì)量及可靠性,并縮減研發(fā)時(shí)間和器件制造工藝的成本。通過與測試儀器的配合,探針臺將參數(shù)特性不符合要求的芯片記錄下來,在進(jìn)入后序工序前予以剔除,大大降低器件的制造成本。探針臺主要用于晶圓制造環(huán)節(jié)的晶圓檢測、芯片研發(fā)和故障分析等應(yīng)用。
 
晶圓測試是在半導(dǎo)體器件制造過程中執(zhí)行的一個(gè)步驟。在此步驟中,在將晶圓送至芯片準(zhǔn)備之前執(zhí)行,晶圓上存在的所有單個(gè)集成電路都通過對其應(yīng)用特殊測試模式來測試功能缺陷。晶圓測試由稱為晶圓探針器的測試設(shè)備執(zhí)行。晶圓測試過程可以通過多種方式進(jìn)行引用:晶圓最終測試、電子芯片分類和電路探針可能是較常見的。
 
探針臺可以固定晶圓或芯片,并精確定位待測物。手動(dòng)探針臺的使用者將探針臂和探針安裝到操縱器中,并使用顯微鏡將探針尖-端放置到待測物上的正確位置。一旦所有探針尖-端都被設(shè)置在正確的位置,就可以對待測物進(jìn)行測試。對于帶有多個(gè)芯片的晶圓,使用者可以抬起壓盤,壓盤將探針頭與芯片分開,然后將工作臺移到下一個(gè)芯片上,使用顯微鏡找到精確的位置,壓板降低后下一個(gè)芯片可以進(jìn)行測試。半自動(dòng)和全自動(dòng)探針臺系統(tǒng)使用機(jī)械化工作臺和機(jī)器視覺來自動(dòng)化這個(gè)移動(dòng)過程,提高了探針臺生產(chǎn)率。

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