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貨物所在地：江蘇無錫市
更新時間：2025-03-26 21:00:08
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差壓式氣體質(zhì)量流量計(jì)5910DD4用于對氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測量和控制。它們在半導(dǎo)體和集成電路工業(yè)、特種材料學(xué)科、化學(xué)工業(yè)、石油工業(yè)、醫(yī)藥、環(huán)保和真空燈多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的作用。
其典型的應(yīng)用場合包括：電子工藝設(shè)備，如擴(kuò)散、外延、CVD、氧化、等離子刻蝕、濺射、離子注入；以及鍍膜設(shè)備、光纖熔煉、微反應(yīng)裝置、混氣配氣系統(tǒng)、毛細(xì)管測量、氣相色譜儀及其他分析儀器
黑龍江差壓式氣體質(zhì)量流量計(jì)5910DD4產(chǎn)品參數(shù)：
量程范圍 | 0.2～5kg/h |
測控范圍 | 流量計(jì)量程比100:1 控制器量程比50：1 |
準(zhǔn)確度（滿量程） | 氣體：±0.5.0%F.S、液體±0.25.0%F.S |
穩(wěn)定性 | ±0.1%F.S |
重復(fù)精度 | ±0.05%F.S |
響應(yīng)時間 | <0.2s |
數(shù)字量 | RS232/485，MODBUS協(xié)議 |
模擬量 | 0～5V、4-20mA、1～5V |
供電 | ±15VDC，24VDC |
工作溫度 | 0～70℃ |
壓力等級 | 100bar |
最大耐壓 | 3MPa/10MPa |
(空格分隔,最多3個,單個標(biāo)簽最多10個字符)
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