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貨物所在地：湖北武漢市
所在地： 武漢市東湖高新區(qū)華工科技園創(chuàng)智
更新時(shí)間：2025-06-02 21:00:07
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在線詢價(jià)收藏產(chǎn)品( 聯(lián)系我們，請(qǐng)說明是在 化工儀器網(wǎng) 上看到的信息，謝謝?。?/p>
一、概述
SR-Mapping 系列利用反射干涉的原理進(jìn)行無損測(cè)量，通過分析薄膜表面反射光和薄膜與基底界面反射光相干涉形成的反射譜，同時(shí)搭配R-Theta位移臺(tái)，兼容6到12寸樣品，可以對(duì)整個(gè)樣品進(jìn)行快速掃描，快速準(zhǔn)確測(cè)量薄膜厚度、光學(xué)常數(shù)等信息，并對(duì)于膜厚均勻性做出評(píng)價(jià)。
光學(xué)薄膜測(cè)量解決方案
非接觸、非破壞測(cè)量
核心算法支持薄膜到厚膜、單層到多層薄膜分析
膜厚重復(fù)性測(cè)量精度：0.02nm
全自動(dòng)測(cè)量，測(cè)量點(diǎn)數(shù)跟位置在Recipe中可根據(jù)需要編輯
二、產(chǎn)品特點(diǎn)
1、SR-Mapping反射膜厚儀采用高強(qiáng)度鹵素?zé)艄庠?，光譜覆蓋紫外可見光到近紅外范圍
![](https://'img69.chem17.com/1cba7c2130d463f06c2cb0596fd5aec9e881c2bf8577acfffe2fcebc9b37dd14cafaeb105074bff3.png"text-align:)
3、基于薄膜層上界面與下界面的反射光相干涉原理，輕松解析單層薄膜到多層
![](https://'img70.chem17.com/1cba7c2130d463f06c2cb0596fd5aec9fd9feed01432729463d56dc3d360b3f0ab7d8c1b4969dae3.png"text-align:)
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