善準等離子體去膠機VP-RS15對標國際一線廠商，補充國內(nèi)技術(shù)短板（真空不銹鋼腔體等離子清洗裝置），真空腔體不銹鋼材質(zhì)，功率500W，頻率13.56MHz，能對材料起到清潔、刻蝕、活化、改性的作用，滿功率運行3分鐘，腔體溫度不高于45℃，不損傷樣品，適用于晶圓去膠、芯片去膠、半導(dǎo)體刻蝕、硅材料刻蝕、碳毯（CF）、微流控芯片PDMS鍵合、ITO導(dǎo)電玻璃、纖維、單晶硅片、PET、二氧化硅等幾乎所有材料的PLASMA等離子體處理。