氦質(zhì)譜檢漏儀分子泵維修故障及處理
1、儀器界面上TMP顯示“0"即分子泵沒有工作
有可能是前級壓力過高(該分子泵的啟動壓力為200Pa)導致分子泵無法啟動。檢查導致壓力過高的項目有：真空規(guī)管是否有問題，分子泵出口是否打開，機械泵油是否太臟或機械泵是否轉(zhuǎn)動，系統(tǒng)是否有泄漏。也有可能是分子泵的葉片或轉(zhuǎn)子被損害，可自行用工具撥動葉片，判斷其能否轉(zhuǎn)動。
2、分子泵加速指示燈不亮
電路板上的保險絲燒斷，更換保險絲或檢查是否有短路現(xiàn)象。
3、分子泵故障燈亮
檢查電路板設(shè)置開關(guān)是否處于R位置，此時應(yīng)該在N位置。檢查風扇是否停止，如風扇正常，則可能為氦質(zhì)譜檢漏儀分子泵電源故障
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