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混合氣體
  • 混合氣體

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更新時間:2025-04-24 21:00:05

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常見混合氣體

 常見混合氣體

用途
組份名稱與常用濃度范圍
平衡氣
照明混合氣
Ar  0.01-3%
Ne
Ar  30-50%
Ne
Ar  30%
Kr
N2 12-17%
Ar
Kr  1-5%  Ar  5-30%
N2
Xe 3-7% Ne 1-5% Ar 5-10%
He
CH3Br  0.1-1% 
Kr
激光混合氣體
CO2 10-34%
He
CO2 4.5—16%  N2  10—25%
He
H2 1% CO 4% CO2 16% N2 16%
He
還原
H2  30-70%
N2
CO 20-50%
N2
H2  5-15%
N2
焊接
O2  1-5%
Ar
CO2 10-20%
Ar
O2   1-2%
Ar
CO2 1-5%
Ar
CO2  5-10%
Ar
He 30-40%
Ar
He 50-80%
Ar
射線測定
CH10%
Ar
消毒殺菌
C2H4O  10-20%
液體CO2
Cl2  2-20%
N2
細胞培養(yǎng)
CO2  5%
O2
檢漏
He  0.5-10%
N2或Ar
特氣
類別
濃度范圍
配置允許誤差
分析準度
特氣混合氣
(10-99)×10-6
組份的±10%
±3%
(100-999)×10-6
組份的±5%
±2%
(0.1-50)%
組份的±5%
±2%
                                                                                               
   
指標
H2,  10-2
≤0.1
O2, 10-6
≤5
H2O, 10-6
≤5
CH4+CO+CO2, 10-6
≤5
注:(1)硅烷、磷烷、乙硼烷、砷烷和氫、氮、氬、氦的;
(2)原料氣體純度采用99.999%-99.9999%的高純氣體,稀釋氣體采用純度≥99.9999%氣體。
其他特氣:
混合氣名稱
組份名稱與常用濃度范圍
平衡氣
氟氬混合氣
F2 1.0%  Ar 3.4-3.6%
Ne
氬氖混合氣
Ar 3.5%  Xe 10ppm 
Ne
氪氟混合氣
F2 1.0%  Kr 1.25%
Ne
氪氖混合氣
 Kr  1.25%
Ne

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